三坐标测量机压缩空气对其影响是置关重要的，绝大多数三坐标测量机都是采用气浮轴承使运动轴的运动无磨擦，其原理是将压缩空气从气浮块的小孔中喷出，在气浮块和导轨之间形成一定厚度的气膜，这个气膜使测量机的各轴运动时无摩擦，保证三坐标测量机正常的运动状态和测量精度。从以上可以看出，气浮块的正常浮起状态对于三坐标测量机的正常工作非常重要。
1.压力对测量机的影响
在正常工作压力的前提下，气浮块的浮起间隙约4~12μm，空气压力的波动会使气浮块的气浮间隙变化，影响测量重复性。气压严重不足时，会使气浮块不能充分浮起造成与导轨摩擦，轻者影响测量机运动状态和测量精度，重者会磨损导轨和气浮块,严重损坏测量机。
Z轴采用气动平衡的测量机在气压严重不足的情况下会造成Z轴失衡下落的情况，非常危险。所以要尽量保证测量机工作压力的稳定。1.要选择合适的空压机，最好另有储气罐，使空压机工作寿命长，压力稳定。2.空压机的启动压力一定要大于工作压力。3.开机时，要先打开空压机，然后接通电源。
2.油和水对测量机的影响
由于空压机对空气压缩的同时会把空气中的水分子和油分子压缩成水和油，而且空压机本身工作时也需要有润滑油对其机构进行润滑，也使得有一部分润滑油进入压缩空气。进入压缩空气的水和油会随着压缩空气进入到平衡气缸和气浮块。在测量机工作时水和油附着在导轨上，使导轨的直线度改变。当测量机不工作时管道中的油滴可能堵塞气浮块的气孔，使气浮块不能正常浮起，造成气浮块与导轨的摩擦，损坏测量机并使气管老化。管道中的水还会腐蚀气浮块和平衡气缸。 
油和水都有“附壁”的特性，所以过滤油和水的工作应该从空压机的输出管道就开始了，要合理设置、利用压缩空气的输送管道，尽量多过滤掉油和水。
虽然测量机配置有过滤器，但是我们最好只把它看作是“保险丝”，因为如果没有前置过滤器，它的滤芯很快被油糊死，造成气压不足而无法工作。为此必须采取前置过滤的方法，尽量争取在水和油进入测量机之前过滤掉。
3.对气路的维护和保养
由于压缩空气对测量机的正常工作起着非常重要的作用，所以对气路的维修和保养非常重要。其中有以下主要项目：
3．1每天使用测量机前检查管道和过滤器，放出过滤器内及空压机或储气罐的水和油。
3．2一般3个月要清洗随机过滤器和前置过滤器的滤芯。空气质量较差的周期要缩短。因为过滤器的滤芯在过滤油和水的同时本身也被油污染堵塞，时间稍长就会使测量机实际工作气压降低，影响测量机正常工作。一定要定期清洗过滤器滤芯。
3．3每天都要擦拭导轨油污和灰尘，保持气浮导轨的正常工作状态。
以下是三坐标测量机的气源布置示意图：
4.对测量机导轨的保护
测量机的导轨是测量机的基准，只有保养好气浮块和导轨才能保证测量机的正常工作。测量机导轨的保养除了要经常用酒精擦拭外，还要注意不要直接在导轨上放置零件和工具。尤其是花岗石导轨，因其质地比较脆，任何小的磕碰会造成碰伤，如果未及时发现，碎渣就会伤害气浮块和导轨。要养成良好的工作习惯，用布或胶皮垫在下面，保证导轨安全。工作结束后或上零件结束后要擦拭导轨。